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「第8.5世代」対応フラットパネル製造用PVD装置を発表

エーケーティー(AKT)
「第8.5世代」対応フラットパネル製造用PVD装置を発表

アプライド マテリアルズの傘下にあり、世界のフラットパネルディスプレイ(FPD)業界に製造・検査装置を供給するリーディングメーカー、AKT(本社:米国カリフォルニア州サンタクララ、General Manager:In Doo Kang)は、第8.5世代(5.5平方メートル)のガラス基板に対応する、革新的なメタル及び透明導電膜成膜用のスパッタリング装置「AKT-PiVot 55KV PVD」を発表しました。新しい装置は、大型液晶テレビ用パネル製造の生産性を高め、製造コストを削減するため、量産で実証されたコンポーネンツを使用し、革新的な新技術を取り入れた高い信頼性を持つPVD装置です。

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